日志
上海微电子国产光刻机设备供应商及股东
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光刻机第一个领域叫做物理镜像精密光学，国内现在供货上海微电子的，并且在那台机器上公司是炬光科技688167。
第二它叫做光斜折叠零轴成像，国内现在供货的只有茂莱光学688502。
第三个领域是光学倒影和平成像，国内供货公司福星科技，还有供应零部件的是欧菲光和富创精密。美埃科技供应光刻机EFU及ULPA。苏大维格供应光栅。海立股份供应冷却系统。
股东：张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子11.73%股权。东方明珠持股上海信息21.33%，间接持有上海微电子。海立股份母公司是上海微电子的第一大股东，同时公司给上海微电子提供配套设施。上海电气母公司是上海微电子的第一大股东。
