“中国刻蚀机之父”尹志尧：已经有能力来做最先进的设备

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【“中国刻蚀机之父”尹志尧：已经有能力来做最先进的设备】在《对话》中，被称为“中国刻蚀机之父”的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域（此前大概有17种工艺设备全部依赖进口）。