科技部1.09亿元下单上海微电子步进扫描式光刻机

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【科技部1.09亿元下单上海微电子步进扫描式光刻机】企查查APP显示，近日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，中标金额约1.09亿元。据此前公告，招标方为科学技术部。企查查信息显示，该公司成立于2002年，经营范围包含：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务等，由上海电气控股集团有限公司、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。